李强
- 作品数:4 被引量:10H指数:2
- 供职机构:天津师范大学物理与电子信息学院更多>>
- 发文基金:天津市科技计划国家自然科学基金天津市应用基础与前沿技术研究计划更多>>
- 相关领域:一般工业技术理学更多>>
- 离子轰击能量对ZrN/TiAlN纳米多层膜性能的影响被引量:5
- 2007年
- 使用超高真空离子束辅助沉积系统(IBAD)制备一系列具有纳米调制周期的ZrN/TiAlN多层膜,研究了离子辅助轰击对薄膜性能的影响.结果表明:离子辅助轰击使大部分ZrN/TiAlN多层膜的纳米硬度和弹性模量值高于两种个体材料硬度的平均值;离子的轰击和薄膜表面原子与轰击离子之间的动量传输提高了薄膜的致密度;当轰击能量为200 eV时,多层膜的硬度最高(30.6 GPa),弹性模量、表面粗糙度和摩擦系数等也明显改善.
- 曹猛李强邓湘云李德军
- 关键词:无机非金属材料
- 离子束流和基底温度对ZrN/TiAlN纳米多层膜性能的影响被引量:5
- 2008年
- 本文利用高真空离子束辅助沉积系统(IBAD),在室温下制备了ZrN、TiAlN和一系列ZrN/TiAlN纳米多层膜,利用XRD、纳米力学测试系统和多功能材料表面性能实验仪,分析了束流和基底温度对薄膜的微结构和机械性能的影响。结果表明:大部分多层膜的纳米硬度与弹性模量值都高于两种个体材料硬度的平均值,当辅助束流为5mA时,多层膜硬度达到30.6GPa。基底温度的升高,会显著降低薄膜的残余应力,但对薄膜的硬度,摩擦系数没有明显影响。
- 曹猛李强杨莹邓湘云李德军
- 关键词:离子束辅助沉积基底温度
- TiB2/TiN纳米多层膜界面的第一性原理研究
- 进入20世纪90年代,人们通过多层涂层设计,使薄膜的综合性能进一步提高。而纳米多层薄膜的出现使薄膜的研究进入了新的领域,引起了研究人员的广泛关注。然而, 在纳米多层膜的研究中,界面特征始终是难点,也正是界面结构和性能决定...
- 李强邓湘云李德军
- 关键词:第一性原理密度泛函
- 文献传递
- 离子束流和基底温度对ZrN/TiAlN纳米多层膜性能的影响
- 硬质薄膜的合成是目前材料科学研究的重要领域之一,与单组分薄膜相比, 纳米多层薄膜的硬度、韧性、抗氧化性能及耐腐蚀性能等明显较优,其中过渡族金属氮化物多层膜由于存在超模量效应和超硬效应而成为近年来薄膜研究的热点之一。离子束...
- 曹猛李强杨莹邓湘云李德军
- 关键词:离子束辅助沉积束流基底温度
- 文献传递