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刘丹
作品数:
35
被引量:90
H指数:5
供职机构:
中国科学院上海光学精密机械研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
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合作作者
黄惠杰
中国科学院上海光学精密机械研究...
任冰强
中国科学院上海光学精密机械研究...
赵永凯
中国科学院上海光学精密机械研究...
陈卫标
中国科学院上海光学精密机械研究...
张维新
中国科学院上海光学精密机械研究...
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黄惠杰
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 起偏器 光刻 照明系统 测量方法
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任冰强
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 光束 照明系统 光阑 焦斑
发表作品
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赵永凯
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:生物传感器 在线检测装置 气溶胶 敏感区 生物气溶胶
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陈卫标
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:激光器 激光雷达 激光 光纤 单频
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张维新
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光阑 平行光管 在线检测装置 光学元件 分光镜
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朱小磊
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:激光器 全固态激光器 电光调Q 单频 种子注入
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王向朝
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 投影物镜 波像差 干涉仪 掩模
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王树森
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:平行光管 在线检测装置 光学元件 分光镜 光阑
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刘继桥
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:激光雷达 多普勒测风激光雷达 单频 激光器 多普勒激光雷达
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臧华国
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:激光器 电光调Q 种子注入 单频 频率稳定性
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