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刘敏
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16
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供职机构:
中国科学院合肥物质科学研究院
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合作作者
李新化
中国科学院合肥物质科学研究院
史同飞
中国科学院合肥物质科学研究院
马文霞
中国科学院合肥物质科学研究院
王玉琦
中国科学院合肥物质科学研究院
张晖
中国科学院合肥物质科学研究院
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李新化
供职机构:中国科学院合肥物质科学研究院
研究主题:氮化镓 超高真空 磁控溅射 超高真空系统 分子束外延法
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史同飞
供职机构:中国科学院合肥物质科学研究院
研究主题:反应离子刻蚀 硅衬底 纳米压印技术 电子束曝光 太阳能电池
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研究领域
马文霞
供职机构:中国科学院合肥物质科学研究院
研究主题:反应离子刻蚀 硅衬底 纳米压印技术 电子束曝光 太阳能电池
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王玉琦
供职机构:中国科学院合肥物质科学研究院
研究主题:氮化镓 超高真空 分子束外延法 反应离子刻蚀 硅衬底
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张晖
供职机构:中国科学院合肥物质科学研究院
研究主题:聚苯乙烯微球 金属膜 微米 磁控溅射技术 二氯甲烷
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钟飞
供职机构:中国科学院合肥物质科学研究院
研究主题:氮化镓 分子束外延法 金属有机物气相外延 密封法 氮化镓薄膜
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尹志军
供职机构:中国科学院合肥物质科学研究院
研究主题:氮化镓 磁控溅射 超高真空系统 超高真空 分子束外延法
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邱凯
供职机构:中国科学院合肥物质科学研究院
研究主题:氮化镓 磁控溅射 超高真空系统 超高真空 分子束外延法
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宋春军
供职机构:中国科学院合肥物质科学研究院
研究主题:催化剂载体 SUB 高温炉 微电子学 热电材料
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秦晓英
供职机构:中国科学院合肥物质科学研究院
研究主题:热电材料 N型 催化剂载体 SUB 高温炉
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