2024年7月23日
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刘涛
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清华大学
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合作作者
阎绍泽
清华大学
赵杰亮
清华大学
杨开明
清华大学
朱煜
清华大学
鲁森
清华大学
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阎绍泽
供职机构:清华大学
研究主题:动力学 航天器 太阳电池阵 飞行器 蜜蜂
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赵杰亮
供职机构:清华大学
研究主题:飞行器 蜜蜂 仿生 变体 变形量
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杨开明
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 平面电机 六自由度 工件台 直线电机
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朱煜
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 平面电机 工件台 六自由度 气浮轴承
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李鑫
供职机构:清华大学
研究主题:平面电机 工件台 音圈电机 晶圆 光刻机
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刘民
供职机构:清华大学
研究主题:调度问题 遗传算法 调度 学习机 并行机
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鲁森
供职机构:清华大学
研究主题:相位锁定 干涉光刻 光刻机 干涉条纹 工件台
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成荣
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 六自由度 工件台 位移测量系统 激光干涉仪
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郝井华
供职机构:清华大学
研究主题:调度 调度问题 信息领域 调度算法 学习机
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王子羲
供职机构:清华大学
研究主题:机械密封 静环 磁悬浮轴承 保护轴承 机械密封装置
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