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程融

作品数：5 被引量：2H指数：1
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>

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李昕欣
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：悬臂梁 传感器 硅 硅片 压阻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
蒋珂玮
供职机构：华东师范大学
研究主题：操控 传感器 纳米氧化锌 相对湿度 MEMS
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
汪飞
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：MEMS 悬臂梁 芯片测试 接触电阻 微机械
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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