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张天冲
作品数:
31
被引量:1
H指数:1
供职机构:
中国科学院高能物理研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
化学工程
金属学及工艺
理学
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合作作者
伊福廷
中国科学院高能物理研究所
刘静
中国科学院高能物理研究所
王波
中国科学院高能物理研究所
张新帅
中国科学院高能物理研究所
王雨婷
中国科学院高能物理研究所
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伊福廷
供职机构:中国科学院高能物理研究所
研究主题:LIGA技术 光刻 LIGA 微细加工 光刻胶
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王波
供职机构:中国科学院高能物理研究所
研究主题:光刻胶 氯化铯 套刻 硅 硅表面
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供职机构
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刘静
供职机构:中国科学院高能物理研究所
研究主题:氯化铯 硅表面 光刻胶 硅 套刻
发表作品
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供职机构
所获资助
研究领域
张新帅
供职机构:中国科学院高能物理研究所
研究主题:光刻胶 氯化铯 离子束刻蚀 显影 微结构
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供职机构
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王雨婷
供职机构:中国科学院高能物理研究所
研究主题:硅 光刻胶 高宽比 氯化铯 衬底
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李延春
供职机构:中国科学院高能物理研究所
研究主题:高温高压 X射线衍射 相变 衍射 金刚石
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贾全杰
供职机构:中国科学院高能物理研究所
研究主题:硅晶体 掠入射 GAN 半导体 Δ掺杂
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王焕华
供职机构:中国科学院高能物理研究所
研究主题:晶体管技术 晶体管 电子学 三极管 钛酸锶
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