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徐静

作品数：43 被引量：70H指数：5
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
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共 20 条 记 录，以下是 1-10
吴亚明
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：MEMS 微机电系统 光开关 光纤准直器 微电子机械系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
钟少龙
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：MEMS 加速度传感器 键合 微机电系统 MEMS工艺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李四华
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：驱动器 微机电系统 MEMS 苯并环丁烯 体硅工艺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李绍良
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：缓冲气体 阳极键合 原子钟 MEMS技术 光学窗口
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
高翔
供职机构：浙江大学
研究主题：烟气 催化剂 烟气脱硫 选择性催化还原 太阳能
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵本刚
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微电子机械系统 光学电流传感器 高灵敏度 光电隔离 温度补偿
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘玉菲
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微电子机械系统 光学电流传感器 苯并环丁烯 高灵敏度 气密性封装
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
翟雷应
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：MEMS 微光机电系统 静电驱动 微机电系统 大尺寸
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张志强
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：缓冲气体 原子钟 阳极键合 各向异性腐蚀 物理系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨丹琼
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：差分 弹性梁 加速度传感器 电极 加速度计
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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