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茅昕辉

作品数：22 被引量：146H指数：7
供职机构：上海交通大学微纳米科学技术研究院微米纳米加工技术国家级重点实验室更多>>
发文基金：国家自然科学基金上海市科委纳米专项基金国家教育部博士点基金更多>>
相关领域：电子电信理学电气工程一般工业技术更多>>

合作作者

领域

  • 13个一般工业技术
  • 12个电子电信
  • 12个电气工程
  • 12个自动化与计算...
  • 12个理学
  • 10个机械工程
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  • 7个交通运输工程
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  • 3个医药卫生
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  • 1个生物学
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主题

  • 13个溅射
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  • 12个微细加工
  • 10个刻蚀
  • 9个电路
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机构

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资助

  • 13个国家自然科学...
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  • 2个航天支撑技术...

传媒

  • 9个真空科学与技...
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  • 8个微细加工技术
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地区

  • 9个上海市
  • 3个江苏省
  • 1个北京市
共 14 条 记 录，以下是 1-10
蔡炳初
供职机构：上海交通大学
研究主题：微机电系统 MEMS 微机械 形状记忆合金 微驱动器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
吴茂松
供职机构：霍尼韦尔(中国)有限公司
研究主题：MEMS 微机电系统 电感器 可变光衰减器 SU-8
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵小林
供职机构：上海交通大学
研究主题：微机电系统 MEMS 微机械 微机电系统技术 电磁驱动
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨春生
供职机构：上海交通大学
研究主题：电极 MEMS 微机电系统 压电 微针
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈国平
供职机构：东南大学
研究主题：电致变色 磁控溅射 边缘用户 宏小区 麦胚
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周勇
供职机构：上海交通大学
研究主题：巨磁阻抗效应 磁通门传感器 螺线管线圈 巨磁阻抗 射频
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈吉安
供职机构：上海交通大学
研究主题：巨磁阻抗效应 传感器 巨磁阻抗 多层膜 磁敏器件
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
丁文
供职机构：上海交通大学
研究主题：巨磁阻抗效应 多层膜 传感器 巨磁阻抗 绝缘问题
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张浩康
供职机构：东南大学
研究主题：MIM薄膜二极管 微处理器 反应溅射 TA 电子束蒸发
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘云峰
供职机构：东南大学薄膜研究所
研究主题：IGBT TA 反应溅射 过流保护 湿敏元件
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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