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邹强

作品数：3 被引量：11H指数：2
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室更多>>
发文基金：国家攀登计划更多>>
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陆德仁
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 加速度传感器 传感器 微机械加速度传感器 微电子机械系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王渭源
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 传感器 微电子机械系统 微机械器件 金刚石薄膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
熊幸果
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题：反应离子刻蚀 微机械 电容式加速度传感器 硅传感器 玻璃衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李宝清
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 加速度计 电容式 栅结构 加速度传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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