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顾晓渝
作品数:
1
被引量:13
H指数:1
供职机构:
清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系
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相关领域:
机械工程
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合作作者
高宏
清华大学机械工程学院精密仪器与...
薛实福
清华大学机械工程学院精密仪器与...
李庆祥
清华大学机械工程学院精密仪器与...
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李庆祥
供职机构:清华大学机械工程学院精密测试技术及仪器国家重点实验室
研究主题:集成电路 柔性铰链 微装配 母盘 近场光存储
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薛实福
供职机构:清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系
研究主题:集成电路 力传感器 原子力显微镜 显微镜 线宽
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所获资助
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高宏
供职机构:清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系
研究主题:显微镜 光学轮廓仪 力传感器 原子力显微镜 表面粗糙度
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