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李昕欣

作品数：528 被引量：372H指数：10
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
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王跃林
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 硅片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨恒
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅 纳米 各向异性腐蚀 微机械 压阻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
许鹏程
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微悬臂梁 悬臂梁 气体传感器 芯片 纳米线
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王家畴
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅片 单晶硅 热电堆 衬底 热偶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
于海涛
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微悬臂梁 悬臂梁 谐振式 锁相环 传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
鲍海飞
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：原子力显微镜 加速度计 高量程加速度传感器 量程 微机电系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
冯飞
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：色谱柱 热导检测器 固定相 微机电系统 气相色谱柱
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
宋朝辉
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：加速度计 高量程加速度传感器 量程 加速度传感器 测试装置
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘民
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：加速度计 测试装置 接口电路 锁相环 悬臂梁
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
鲍敏杭
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅 压力传感器 传感器 微机械 各向异性腐蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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