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林宏

作品数：49 被引量：5H指数：1
供职机构：上海集成电路研发中心更多>>
相关领域：电子电信文化科学自动化与计算机技术电气工程更多>>

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地区

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共 9 条 记 录，以下是 1-9
王伟军
供职机构：上海集成电路研发中心
研究主题：刻蚀 形貌 刻蚀工艺 图形化 空气隙
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
左青云
供职机构：上海集成电路研发中心
研究主题：衬底 淀积 空气隙 介质层 存储器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李铭
供职机构：上海集成电路研发中心
研究主题：淀积 光刻 刻蚀 衬底 介质层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
姚嫦娲
供职机构：上海集成电路研发中心
研究主题：刻蚀 刻蚀工艺 互连 空气隙 通孔
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
黄仁东
供职机构：上海集成电路研发中心
研究主题：刻蚀 金属栅 金属 淀积 抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
胡正军
供职机构：上海集成电路研发中心
研究主题：淀积 清洗方法 干法刻蚀 二氧化硅 介电材料
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张远
供职机构：上海集成电路研发中心
研究主题：小波分解 高通滤波 输入端口 输出端口 图像
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
曾绍海
供职机构：上海集成电路研发中心
研究主题：淀积 刻蚀 衬底 侧墙 超大规模集成电路
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李佳青
供职机构：上海集成电路研发中心
研究主题：物料输送系统 物料输送 物料 输送车 硅片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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