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胡曦文
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天津理工大学
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自动化与计算机技术
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合作作者
王宝林
天津理工大学
王雨晨
天津理工大学
陆涛
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赵金石
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孙文翔
天津理工大学
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张楷亮
供职机构:天津理工大学
研究主题:化学机械抛光 抛光液 存储器 叠层结构 抛光速率
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孙阔
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孙文翔
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王雨晨
供职机构:天津理工大学
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王宝林
供职机构:天津理工大学
研究主题:存储器 氧化钒薄膜 离子束溅射 叠层结构 射频溅射
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陆涛
供职机构:天津理工大学
研究主题:存储器 叠层结构 射频溅射 氧化钒薄膜 氧化钒
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赵金石
供职机构:天津理工大学
研究主题:存储器 叠层结构 电极 氧化钒 低功耗
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王芳
供职机构:天津大学
研究主题:存储器 叠层结构 化学机械抛光 氧化钒薄膜 金刚石薄膜
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