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徐文婷
作品数:
6
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H指数:2
供职机构:
北京有色金属研究总院
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发文基金:
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国家自然科学基金
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相关领域:
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合作作者
周旗钢
有研半导体材料股份有限公司北京...
屠海令
北京有色金属研究总院
滕冉
有研半导体材料股份有限公司北京...
肖清华
有研半导体材料股份有限公司北京...
常青
有研半导体材料股份有限公司北京...
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屠海令
供职机构:国家工程研究中心
研究主题:硅 单晶 硅单晶 存储器 底电极
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周旗钢
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:硅单晶 硅片 300MM硅片 单晶硅 直拉硅单晶
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相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
常青
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:硅单晶 300MM硅片 硅片 晶体生长 单晶
发表作品
相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
肖清华
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:硅片 离子注入 单晶硅 高温退火 硅
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相关人物
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所获资助
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王永涛
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:数值模拟 非均匀性 氧浓度 半导体材料 硅单晶
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相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
滕冉
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:硅单晶 数值模拟 热屏 单晶硅 固液界面
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