您的位置: 专家智库 > >

王伟军

作品数:34 被引量:0H指数:0
供职机构:上海集成电路研发中心更多>>
相关领域:电子电信文化科学交通运输工程自动化与计算机技术更多>>

领域

  • 12个电子电信
  • 11个自动化与计算...
  • 8个文化科学
  • 7个电气工程
  • 5个交通运输工程
  • 4个一般工业技术
  • 3个金属学及工艺
  • 2个建筑科学
  • 2个理学
  • 1个经济管理
  • 1个化学工程
  • 1个矿业工程
  • 1个机械工程
  • 1个轻工技术与工...
  • 1个农业科学

主题

  • 13个刻蚀
  • 13个半导体
  • 11个牺牲层
  • 9个电极
  • 9个电路
  • 8个淀积
  • 7个氮化
  • 7个等离子体
  • 7个电容
  • 6个氮化硅
  • 6个电路制造
  • 6个多晶
  • 6个湿法刻蚀
  • 5个导体
  • 5个电镀
  • 4个单晶
  • 4个导电
  • 4个低K介质
  • 4个电场
  • 3个单晶硅

机构

  • 15个上海集成电路...
  • 1个黑龙江大学

资助

  • 2个国家科技重大...
  • 1个国家科技基础...
  • 1个国家自然科学...
  • 1个黑龙江省自然...
  • 1个上海市国际科...
  • 1个上海市浦江人...
  • 1个中国科学院知...

传媒

  • 4个复旦学报(自...
  • 2个集成电路应用
  • 2个第十六届全国...
  • 1个大豆科学
  • 1个激光与光电子...
  • 1个水土保持通报
  • 1个自动化技术与...

地区

  • 15个上海市
15 条 记 录,以下是 1-10
林宏
供职机构:上海集成电路研发中心
研究主题:空气隙 填充金属 铜互连 硅片 金属互连线
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李铭
供职机构:上海集成电路研发中心
研究主题:淀积 光刻 刻蚀 衬底 介质层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
康晓旭
供职机构:上海集成电路研发中心
研究主题:像元 红外探测器 衬底 牺牲层 微桥结构
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
姚嫦娲
供职机构:上海集成电路研发中心
研究主题:刻蚀 刻蚀工艺 互连 空气隙 通孔
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
黄仁东
供职机构:上海集成电路研发中心
研究主题:刻蚀 金属栅 金属 淀积 抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
胡正军
供职机构:上海集成电路研发中心
研究主题:淀积 清洗方法 干法刻蚀 二氧化硅 介电材料
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
袁超
供职机构:上海集成电路研发中心
研究主题:牺牲层 空气隙 MEMS麦克风 振动膜 介质层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
奚鹏程
供职机构:上海集成电路研发中心
研究主题:串联电阻 浮体效应 自加热效应 刻蚀 介质层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
曾绍海
供职机构:上海集成电路研发中心
研究主题:淀积 刻蚀 衬底 侧墙 超大规模集成电路
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨冰
供职机构:上海集成电路研发中心
研究主题:传感器结构 图像传感器 隔离层 金属电极 量子点
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
共2页<12>
聚类工具0