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徐敬波

作品数：12 被引量：37H指数：5
供职机构：西安交通大学更多>>
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蒋庄德
供职机构：西安交通大学
研究主题：传感器芯片 电极 传感器 芯片 MEMS
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赵玉龙
供职机构：西安交通大学
研究主题：传感器芯片 MEMS 传感器 硅 芯片
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孙剑
供职机构：西安交通大学理学院信息与系统科学研究所
研究主题：MEMS SOI 集成传感器 入侵检测 支持向量机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
孙剑
供职机构：西安交通大学
研究主题：激光 激光雷达 电机转子 电机定子 激光探测器
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周建发
供职机构：航天长征火箭技术有限公司
研究主题：MEMS 微细加工 湿法腐蚀 谐振梁 传感器芯片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
苑国英
供职机构：西安交通大学
研究主题：传感器芯片 敏感元件 亚表面 惠斯通电桥 耐高温
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宋康
供职机构：西安交通大学
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张大成
供职机构：北京大学
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杨芳
供职机构：北京大学
研究主题：刻蚀 微电子机械系统 MEMS器件 压阻式压力传感器 牺牲层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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