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程兆谷
作品数:
125
被引量:328
H指数:12
供职机构:
中国科学院上海光学精密机械研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
福特-中国研究与发展基金
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相关领域:
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合作作者
黄惠杰
中国科学院上海光学精密机械研究...
高海军
中国科学院上海光学精密机械研究...
张志平
中国科学院上海光学精密机械研究...
王润文
中国科学院上海光学精密机械研究...
李现勤
西安交通大学机械工程学院
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黄惠杰
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 起偏器 光刻 照明系统 测量方法
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高海军
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:硅片 双频激光干涉仪 分光镜 平面反射镜 双频激光器
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张志平
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:硅片 平面反射镜 散射光 倾斜入射 凹透镜
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王润文
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:激光器 CO_2激光 高功率 激光 气体激光器
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李现勤
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:铝合金 脉冲 CO_2激光 二氧化碳激光器 放电区
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赵全忠
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:飞秒激光 超短脉冲激光 激光 超快激光 激光加工
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赵永凯
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:生物传感器 在线检测装置 气溶胶 敏感区 生物气溶胶
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杜龙龙
供职机构:湖州职业技术学院
研究主题:敏感区 散射光 光学传感器 信噪比 在线检测装置
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路敦武
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻 光学 敏感区 散射光 信噪比
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许国良
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:铝合金 CO_2激光 激光焊接 激光束 二氧化碳激光
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