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朱效立
作品数:
155
被引量:122
H指数:6
供职机构:
中国科学院微电子研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
国家重点基础研究发展计划
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相关领域:
电子电信
机械工程
理学
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合作作者
谢常青
兰州大学物理科学与技术学院
刘明
兰州大学物理科学与技术学院
李海亮
北京工业大学激光工程研究院
李冬梅
中国科学院微电子研究所
牛洁斌
中国科学院微电子研究所纳米加工...
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谢常青
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:电子束光刻 X射线光刻 敏感膜 存储器 衬底
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刘明
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:存储器 电极 衬底 电子束光刻 介质层
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李海亮
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:电子束光刻 衬底 衍射光栅 自支撑 大高宽比
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供职机构
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研究领域
李冬梅
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:敏感膜 延迟线 柔性衬底 光刻胶 气体传感器
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牛洁斌
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:电子束光刻 电子束曝光 衬底 电子束直写 衍射光栅
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辛将
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:能量守恒定律 衍射光学元件 大高宽比 方孔 光源
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陈宝钦
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:电子束光刻 电子束曝光 电子束直写 抗蚀剂 电子束
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刘慎业
供职机构:中国工程物理研究院激光聚变研究中心
研究主题:X射线 惯性约束聚变 条纹相机 激光等离子体 成像
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叶甜春
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:X射线光刻 沟道 半导体器件 版图 衬底
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方磊
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:光刻胶 掩模 旋涂 电子束直写 大高宽比
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