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高晓童

作品数：6 被引量：8H指数：2
供职机构：中国科学院电子学研究所更多>>
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崔大付
供职机构：中国科学院电子学研究所
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陈德勇
供职机构：中国科学院电子学研究所
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王利
供职机构：中国科学院电子学研究所
研究主题：MEMS 压力传感器 谐振梁 微电极阵列 微结构
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范兆岩
供职机构：中国科学院电子学研究所
研究主题：压力传感器 微电子机械系统 谐振梁 有限元模拟 硅
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王蕾
供职机构：中国科学院电子学研究所
研究主题：压力传感器 光寻址电位传感器 多孔硅 谐振梁 微结构
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