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吴燕红
作品数:
36
被引量:11
H指数:2
供职机构:
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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电子电信
自动化与计算机技术
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合作作者
杨恒
中国科学院上海微系统与信息技术...
李昕欣
中国科学院上海微系统与信息技术...
豆传国
中国科学院上海微系统与信息技术...
王跃林
中国科学院上海微系统与信息技术...
戈肖鸿
中国科学院上海微系统与信息技术...
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杨恒
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:硅 纳米 各向异性腐蚀 微机械 压阻
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李昕欣
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:悬臂梁 硅 传感器 硅片 压阻
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豆传国
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:应力传感器 硅 多晶硅 互连 电极
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王跃林
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 键合
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所获资助
研究领域
戈肖鸿
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:硅 微机械 互连 多晶硅 各向异性腐蚀
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成海涛
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:纳米 MOS电容 空间电荷区 电极 衬底
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戴斌
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:空间电荷区 电极 纳米 衬底 场效应晶体管
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徐高卫
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:圆片级 封装结构 子层 湿法腐蚀 电镀
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吴紫阳
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:光刻胶 悬架 光刻 胶膜 衬底
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罗乐
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:圆片级 封装 子层 电镀 封装结构
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