您的位置： 专家智库 > >

吴光庆

作品数：4 被引量：1H指数：1
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所更多>>
相关领域：电子电信机械工程更多>>

合作作者

领域

  • 4个电子电信
  • 2个机械工程
  • 1个金属学及工艺

主题

  • 3个晶圆
  • 2个电镀
  • 2个电镀槽
  • 2个镀槽
  • 2个运动仿真
  • 2个兆声清洗
  • 2个升降式
  • 2个偏心
  • 2个平坦化
  • 2个曲柄
  • 2个化学机械平坦...
  • 2个机械手
  • 2个仿真
  • 2个封装
  • 2个硅
  • 1个氮化镓
  • 1个电场
  • 1个电路
  • 1个循环冷却水
  • 1个循环冷却水系...

机构

  • 4个中国电子科技...

资助

  • 1个中国人民解放...

传媒

  • 4个电子工业专用...
  • 1个半导体技术
共 4 条 记 录，以下是 1-4
郭春华
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：CMP设备 工业泵 化学机械平坦化 湿法腐蚀 湿法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
史霄
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：化学机械抛光 CMP CMP技术 氮化镓 晶片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
曹秀芳
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：晶圆 硅片 污染物 机械手 全自动
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张伟峰
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：硅 封装 电镀槽
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0