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符晓荣

作品数:6 被引量:36H指数:3
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室更多>>
发文基金:国家自然科学基金更多>>
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林成鲁
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:离子注入 SOI 硅 SIMOX 铁电薄膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
武光明
供职机构:北京石油化工学院
研究主题:喷雾热分解 喷雾热分解法 性能研究 热分解 光电性能
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
多新中
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:SOI 离子注入 硅 ALN薄膜 SOI材料
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
宋志棠
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:相变存储器 相变 相变材料 存储器 电阻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘卫丽
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:化学机械抛光 抛光液 相变存储器 相变材料 抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
宋世庚
供职机构:中国科学院新疆物理研究所
研究主题:铁电薄膜 SOL-GEL法制备 喷雾热分解法 喷雾热分解 PZT
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王连卫
供职机构:华东师范大学
研究主题:微通道板 硅 多孔硅 微通道 电化学刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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