2025年1月29日
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韩桂全
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清华大学
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路新春
清华大学机械工程学院摩擦学国家...
刘宇宏
清华大学
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郭丹
清华大学
王同庆
清华大学机械工程学院摩擦学国家...
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路新春
供职机构:清华大学
研究主题:化学机械抛光 晶圆 抛光液 抛光垫 抛光
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刘宇宏
供职机构:清华大学
研究主题:化学机械抛光 抛光液 摩擦副表面 铜布线 润滑材料
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雒建斌
供职机构:清华大学
研究主题:化学机械抛光 润滑 薄膜润滑 抛光液 纳米级
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赵德文
供职机构:清华大学
研究主题:化学机械抛光 解析解 晶圆 基板 拉拔
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王同庆
供职机构:清华大学
研究主题:化学机械抛光 晶圆 抛光液 CMP 抛光垫
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何永勇
供职机构:清华大学
研究主题:晶圆 故障诊断 化学机械抛光 抛光液 旋转机械
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