2025年1月30日
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张超前
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供职机构:
中国科学院微电子研究所
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相关领域:
电子电信
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合作作者
赵玲利
中国科学院微电子研究所
王守国
中国科学院微电子研究所
杨景华
中国科学院微电子研究所
张学一
中国科学院微电子研究所
陈鲁
中国科学院微电子研究所
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杨景华
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:等离子体 滚轴 常压 放电装置 自由基
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王守国
供职机构:中国科学院微电子研究所
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赵玲利
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:等离子体 常压 常压等离子体 自由基 等离子体发生器
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张学一
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:采集器 光栅 光学特性 激光光源 相干
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陈鲁
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:表面等离激元 散射 反射光 晶圆 金薄膜
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夏洋
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:原子层沉积 等离子体 氧化锌薄膜 SUB 共掺
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