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李勇滔

作品数：197 被引量：21H指数：3
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夏洋
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 等离子体 氧化锌薄膜 SUB 共掺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李超波
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 氧化锌薄膜 离子注入 等离子体 共掺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵章琰
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：控制部件 表面肌电信号 半导体制造技术 射频电源 控制系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
石莎莉
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：硅衬底 控制部件 氮化硅薄膜 牺牲层 刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王文东
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：等离子喷涂 SUB 陶瓷涂层 等离子体喷涂 大气等离子喷涂
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李英杰
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：射频电源 射频 功率放大电路 功率检测器 供电线路
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刘邦武
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：SUB 等离子喷涂 陶瓷涂层 等离子体喷涂 等离子体浸没离子注入
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李楠
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 启辉 等离子体 电极 半导体制造技术
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘杰
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：等离子体浸没离子注入 离子注入 等离子体 离子 薄膜封装
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
秦威
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：射频电源 阻抗匹配网络 功率放大电路 射频 供电线路
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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