2024年7月23日
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前田龙太郎
作品数:
3
被引量:5
H指数:1
供职机构:
日本产业技术综合研究所
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动力工程及工程热物理
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合作作者
金玉丰
北京大学信息科学技术学院微电子...
池原毅
日本产业技术综合研究所
张国雄
天津大学精密仪器与光电子工程学...
小林健
日本产业技术综合研究所
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小林健
供职机构:日本产业技术综合研究所
研究主题:垂直面 SFM 悬臂 微机械 英文
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池原毅
供职机构:日本产业技术综合研究所
研究主题:ICP 感应耦合 反应离子刻蚀 硅镜 激励源
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张国雄
供职机构:天津大学
研究主题:三坐标测量机 误差补偿 自由曲面 微机电系统 测量机
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金玉丰
供职机构:北京大学深圳研究生院
研究主题:通孔 键合 硅 MEMS 真空封装
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