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前田龙太郎

作品数:3 被引量:5H指数:1
供职机构:日本产业技术综合研究所更多>>
相关领域:机械工程动力工程及工程热物理更多>>

领域

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主题

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机构

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资助

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传媒

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  • 1个物理学报

地区

  • 1个天津市
  • 1个广东省
4 条 记 录,以下是 1-4
小林健
供职机构:日本产业技术综合研究所
研究主题:垂直面 SFM 悬臂 微机械 英文
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
池原毅
供职机构:日本产业技术综合研究所
研究主题:ICP 感应耦合 反应离子刻蚀 硅镜 激励源
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张国雄
供职机构:天津大学
研究主题:三坐标测量机 误差补偿 自由曲面 微机电系统 测量机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
金玉丰
供职机构:北京大学深圳研究生院
研究主题:通孔 键合 硅 MEMS 真空封装
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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