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张津

作品数：10 被引量：12H指数：2
供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
相关领域：电子电信兵器科学与技术理学机械工程更多>>

合作作者

领域

  • 11个电子电信
  • 8个机械工程
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主题

  • 11个光刻
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  • 10个投影光刻
  • 10个投影光刻机
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  • 4个电源
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机构

  • 12个中国科学院
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  • 1个中国科学院研...
  • 1个《光电工程》...
  • 1个西藏自治区气...
  • 1个西藏自治区气...

资助

  • 7个国家自然科学...
  • 7个中国科学院知...
  • 6个中国科学院知...
  • 5个国家高技术研...
  • 4个国家重点实验...
  • 3个国家重点基础...
  • 3个中科院创新基...
  • 3个“八五”国家...
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  • 2个中国科学院西...
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  • 2个青年科技基金
  • 1个教育部科学技...
  • 1个教育部留学回...
  • 1个四川省学术和...
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  • 1个四川省科技支...

传媒

  • 11个微细加工技术
  • 10个光电工程
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  • 7个微纳电子技术
  • 7个第十一届全国...
  • 6个红外与激光工...
  • 6个光学学报
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  • 4个物理
  • 4个第十二届全国...
  • 3个物理学报
  • 3个光学技术
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  • 3个强激光与粒子...
  • 3个LSI制造与...
  • 3个压电与声光
  • 3个2003中国...

地区

  • 11个四川省
  • 1个西藏
共 12 条 记 录，以下是 1-10
姚汉民
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻分辨力 投影光刻物镜 原子束 光刻 光子晶体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
胡淞
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：分步重复光刻机 调平 投影光刻机 套刻 光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈旭南
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻分辨力 原子束 微细图形 光刻 投影光刻物镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
唐小平
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻 半导体器件 分步重复投影光刻机 光刻机 大规模集成电路
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
余国彬
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻分辨力 相机 投影光刻物镜 深空探测 投影光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
唐小萍
供职机构：西藏自治区气候中心
研究主题：生物芯片 纳米光刻 掩模 光刻分辨力 光刻机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李展
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：原子束 星敏感器 微细图形 原子光刻 遮光罩
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
罗先刚
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻 超分辨 掩模 表面等离子体 金属
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
苏伟军
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：调平 亚微米 分步重复投影光刻机 分步重复光刻机 光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨维全
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 图像处理 集成电路 大气层内 仿真
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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