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佟辉
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中国科学院
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一般工业技术
自动化与计算机技术
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合作作者
郭东民
中国科学院
黄晓霞
中国科学院
刘丽华
中国科学院
冯彬
中国科学院
王宏宇
中国科学院
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郭东民
供职机构:中国科学院
研究主题:真空设备 磁控 籽晶 卷烟 法兰
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黄晓霞
供职机构:中国科学院
研究主题:真空设备 籽晶 传动装置 长轴 高温环境
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冯彬
供职机构:中国科学院
研究主题:磁控 镀膜设备 磁控溅射 溅射 离子枪
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刘丽华
供职机构:中国科学院
研究主题:磁控 镀膜设备 磁控溅射靶 磁控溅射 法兰
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王宏宇
供职机构:中国科学院长春应用化学研究所
研究主题:电解液 电化学电容器 超级电容器 离子电池 真空设备
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王尧
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:真空设备 籽晶 LED 配光 结温
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吕琪
供职机构:中国科学院
研究主题:真空设备 籽晶 传动装置 膨胀节 法兰
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张国栋
供职机构:中国科学院
研究主题:真空设备 籽晶 传动装置 膨胀节 法兰
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周景玉
供职机构:中国科学院
研究主题:磁控溅射 磁控 镀膜设备 法兰 基片
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戚晖
供职机构:中国科学院
研究主题:磁控溅射 磁控 控制程序 镀膜设备 法兰
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