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李晓波
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供职机构:
中国科学院微电子研究所
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合作作者
刘杰
中国科学院微电子研究所
罗威
中国科学院微电子研究所
罗小晨
中国科学院微电子研究所
李勇滔
中国科学院微电子研究所
汪明刚
中国科学院微电子研究所
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罗小晨
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:离子注入 等离子体 等离子体浸没离子注入 等离子喷涂 离子
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夏洋
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:原子层沉积 等离子体 氧化锌薄膜 SUB 共掺
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汪明刚
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:等离子体 等离子体浸没离子注入 离子注入 离子 浸没
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刘杰
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:等离子体浸没离子注入 离子注入 等离子体 离子 薄膜封装
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李勇滔
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:等离子体 SUB 硅衬底 射频电源 离子注入
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相关人物
供职机构
所获资助
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罗威
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:离子注入 等离子体 等离子体浸没离子注入 离子 探测器
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