您的位置： 专家智库 > >

李晓波

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>

合作作者

领域

  • 5个电子电信
  • 5个电气工程
  • 4个自动化与计算...
  • 4个一般工业技术
  • 3个理学
  • 2个化学工程
  • 2个机械工程
  • 2个交通运输工程
  • 1个金属学及工艺
  • 1个轻工技术与工...
  • 1个航空宇航科学...
  • 1个核科学技术
  • 1个文化科学

主题

  • 6个等离子
  • 6个等离子体
  • 6个等离子体浸没...
  • 6个电感耦合
  • 5个电极
  • 4个单晶
  • 4个单晶硅
  • 4个单晶硅片
  • 4个等离子体刻蚀
  • 4个等离子体特性
  • 4个电场
  • 4个电场分布
  • 4个电池
  • 3个氮化镓
  • 3个导电薄膜
  • 3个等离子喷涂
  • 2个氮化
  • 2个氮化铝
  • 2个氮化铝薄膜
  • 2个氮化碳

机构

  • 6个中国科学院微...
  • 1个兰州大学

资助

  • 5个国家自然科学...
  • 5个国家科技重大...
  • 3个中国科学院科...
  • 2个国家重点基础...
  • 1个北京市自然科...
  • 1个北京市科技计...

传媒

  • 4个半导体技术
  • 3个核聚变与等离...
  • 3个2010年全...
  • 3个2010’全...
  • 2个光电工程
  • 2个电子工业专用...
  • 2个微电子学
  • 2个现代电子技术
  • 2个微纳电子技术
  • 2个传感器与微系...
  • 2个2015中国...
  • 1个北京科技大学...
  • 1个太阳能学报
  • 1个Journa...
  • 1个物理学报
  • 1个金属热处理
  • 1个激光与光电子...
  • 1个光学学报
  • 1个光子学报
  • 1个热加工工艺

地区

  • 6个北京市
共 6 条 记 录，以下是 1-6
罗小晨
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：离子注入 等离子体 等离子体浸没离子注入 等离子喷涂 离子
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
夏洋
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 等离子体 氧化锌薄膜 SUB 共掺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
汪明刚
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：等离子体 等离子体浸没离子注入 离子注入 离子 浸没
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘杰
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：等离子体浸没离子注入 离子注入 等离子体 离子 薄膜封装
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李勇滔
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：等离子体 SUB 硅衬底 射频电源 离子注入
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
罗威
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：离子注入 等离子体 等离子体浸没离子注入 离子 探测器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0