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6 条 记 录,以下是 1-6
罗小晨
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:离子注入 等离子体 等离子体浸没离子注入 等离子喷涂 离子
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
夏洋
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:原子层沉积 等离子体 氧化锌薄膜 SUB 共掺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
汪明刚
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:等离子体 等离子体浸没离子注入 离子注入 离子 浸没
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘杰
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:等离子体浸没离子注入 离子注入 等离子体 离子 薄膜封装
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李勇滔
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:等离子体 SUB 硅衬底 射频电源 离子注入
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
罗威
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:离子注入 等离子体 等离子体浸没离子注入 离子 探测器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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