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刘勐

作品数：2 被引量：4H指数：1
供职机构：北京大学更多>>
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共 3 条 记 录，以下是 1-3
郝一龙
供职机构：北京大学
研究主题：MEMS 微机电系统 微电子机械系统 硅 加速度计
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张威
供职机构：北京大学信息科学技术学院微米纳米加工技术国家重点实验室
研究主题：MEMS 原电池 微机电系统 微执行器 微电子机械系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘欣
供职机构：中国人民解放军91550部队
研究主题：KOH 金属腐蚀 微机电系统 体硅工艺 湿法腐蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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