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周萍
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14
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H指数:1
供职机构:
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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合作作者
王跃林
中国科学院上海微系统与信息技术...
李铁
中国科学院上海微系统与信息技术...
刘翔
中国科学院研究生院
皋华敏
中国科学院上海微系统与信息技术...
明安杰
中国科学院研究生院
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王跃林
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 键合
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李铁
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:硅纳米线 各向异性腐蚀 石墨烯 气体传感器 纳米
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刘翔
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:液滴 波导 光耦合器 静电驱动 低电压
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皋华敏
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:液滴 低电压 参考电极 孔结构 绝缘衬底
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李昕欣
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:悬臂梁 硅 传感器 硅片 压阻
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陈士清
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:传感器 车辆 减速 刹车 告示
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王翊
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:红外气体传感器 微机械 红外探测器 红外光源 微机械热电堆
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明安杰
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:MEMS 红外光源 图形化 金属电极 光开关
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罗乐
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:圆片级 封装 子层 电镀 封装结构
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王立春
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:气密封装 微机械 凸点 料封 微机械传感器
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