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闫睿
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清华大学
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合作作者
卢耀文
清华大学
齐京
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查良镇
清华大学
陈旭
清华大学
李得天
中国科学院兰州物理研究所
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卢耀文
供职机构:北京东方计量测试研究所
研究主题:真空计 校准装置 分子泵 校准 真空阀门
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齐京
供职机构:清华大学
研究主题:检漏 放气率 电离规 阳极 电子发射体
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查良镇
供职机构:清华大学
研究主题:校准 二次离子质谱 检漏 SIMS 砷化镓
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陈旭
供职机构:清华大学
研究主题:校准 检漏 四极质谱计 校准装置 真空计
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张明志
供职机构:北京东方计量测试研究所
研究主题:校准 温度测量 真空室 等离子体参数 空间等离子体
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徐天伟
供职机构:中国科学院微电子研究所
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李得天
供职机构:兰州空间技术物理研究所
研究主题:校准 校准装置 电离规 航天器 真空计量
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刘志宏
供职机构:北京东方计量测试研究所
研究主题:检漏 校准 定容法 正压漏孔校准装置 正压漏孔
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