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康晓旭
作品数:
430
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供职机构:
上海集成电路研发中心
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相关领域:
电子电信
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合作作者
李铭
上海集成电路研发中心
左青云
上海集成电路研发中心
赵宇航
上海集成电路研发中心
袁超
上海集成电路研发中心
陈寿面
上海集成电路研发中心
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李铭
供职机构:上海集成电路研发中心
研究主题:淀积 光刻 刻蚀 衬底 介质层
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左青云
供职机构:上海集成电路研发中心
研究主题:衬底 淀积 空气隙 介质层 存储器
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赵宇航
供职机构:上海集成电路研发中心
研究主题:图像传感器 像元 光敏元件 CMOS影像传感器 CMOS图像传感器
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袁超
供职机构:上海集成电路研发中心
研究主题:牺牲层 空气隙 MEMS麦克风 振动膜 介质层
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陈寿面
供职机构:上海集成电路研发中心
研究主题:晶体管 光刻 像元 电极 图像
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周炜捷
供职机构:上海集成电路研发中心
研究主题:干法刻蚀 硅衬底 牺牲层 清洗方法 平坦化
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蒋宾
供职机构:上海集成电路研发中心
研究主题:衬底 金属连线 微桥结构 电容 入射光
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曾绍海
供职机构:上海集成电路研发中心
研究主题:淀积 刻蚀 衬底 侧墙 超大规模集成电路
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李佳青
供职机构:上海集成电路研发中心
研究主题:物料输送系统 物料输送 物料 输送车 硅片
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王伟军
供职机构:上海集成电路研发中心
研究主题:刻蚀 形貌 刻蚀工艺 图形化 空气隙
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