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  • 5个前驱物
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彭文芳
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：前驱物 硅片表面 化学吸附 温度梯度 真空系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李春雷
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：前驱物 三氧化二铝 原子层沉积 预热 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
潘龙
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：硅片表面 硅片 化学吸附 温度梯度 前驱物
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘东
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：硅片表面 化学吸附 温度梯度 前驱物 真空系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵星梅
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：立式 氧化炉 炉体 硅片 晶片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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