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刘志宏

作品数：1 被引量：14H指数：1
供职机构：北京东方计量测试研究所更多>>
相关领域：一般工业技术更多>>

合作作者

领域

  • 7个机械工程
  • 7个电子电信
  • 7个一般工业技术
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  • 3个交通运输工程
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  • 2个自然科学总论
  • 1个轻工技术与工...
  • 1个核科学技术

主题

  • 7个定容法
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  • 7个正压漏孔校准...
  • 7个校准
  • 7个校准装置
  • 7个漏孔
  • 7个检漏
  • 5个真空
  • 5个真空计
  • 4个信号
  • 4个压强
  • 4个真空测量
  • 3个真空材料
  • 2个电池
  • 2个电路
  • 2个电子学
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  • 2个性能研究
  • 2个虚拟仪器
  • 2个在线校准

机构

  • 5个清华大学
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  • 1个中国科学院微...
  • 1个信息产业部
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资助

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  • 3个国家高技术研...
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  • 1个国防科技技术...
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  • 1个国防科技工业...

传媒

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  • 2个中国真空学会...
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地区

  • 7个北京市
共 7 条 记 录，以下是 1-7
徐天伟
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：EUV 光刻机 污染物 电子学 次镜
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陈旭
供职机构：清华大学
研究主题：校准 检漏 四极质谱计 校准装置 真空计
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
查良镇
供职机构：清华大学
研究主题：校准 二次离子质谱 检漏 SIMS 砷化镓
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张明志
供职机构：北京东方计量测试研究所
研究主题：校准 温度测量 真空室 等离子体参数 空间等离子体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
卢耀文
供职机构：北京东方计量测试研究所
研究主题：真空计 校准装置 分子泵 校准 真空阀门
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
闫睿
供职机构：清华大学
研究主题：累积法 检漏 放气率 真空器件 真空材料
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
齐京
供职机构：清华大学
研究主题：检漏 放气率 电离规 阳极 电子发射体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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