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彭文芳

作品数：9 被引量：0H指数：0
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  • 1个自动化与计算...
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主题

  • 6个硅片
  • 5个前驱物
  • 5个硅片表面
  • 5个半导体
  • 4个均匀性
  • 3个电路
  • 3个液体表面张力
  • 3个预热
  • 3个真空系统
  • 3个支撑柱
  • 3个排气
  • 3个漂洗
  • 3个轴向
  • 3个装载
  • 3个温度梯度
  • 3个模块化
  • 3个进气
  • 3个化学吸附
  • 3个集成电路
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  • 7个北京七星华创...

资助

  • 1个河北省高等学...

传媒

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地区

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常青
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：前驱物 硅片表面 化学吸附 温度梯度 真空系统
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潘龙
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：硅片表面 硅片 化学吸附 温度梯度 前驱物
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赵星梅
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：立式 氧化炉 炉体 硅片 晶片
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李春雷
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：前驱物 三氧化二铝 原子层沉积 预热 衬底
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刘东
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：硅片表面 化学吸附 温度梯度 前驱物 真空系统
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马超
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：测温热电偶 测温 波纹管 半导体设备 硅片
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陈添明
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：衬底 液体表面张力 半导体集成电路 硅片 涡流
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