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钟华
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:氧化炉 炉体 立式 立式炉 硅片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵星梅
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:立式 氧化炉 炉体 硅片 晶片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张豹
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:卡盘 夹持 硅片 晶片 机械手
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵燕平
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:立式 炉体 立式炉 半导体 热处理炉
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王喆
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:氧化炉 膜厚均匀性 位置控制 水冷却 缓冲器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
董金卫
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:炉体 立式 氧化炉 热偶 半导体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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