2024年7月24日
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陈涵
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10
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清华大学
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合作作者
穆海华
清华大学机械工程学院摩擦学国家...
朱煜
清华大学机械工程学院机械工程系
石淼
清华大学
杨开明
清华大学
徐登峰
清华大学
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穆海华
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 六自由度 工件台 音圈电机 掩模
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朱煜
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 平面电机 工件台 六自由度 气浮轴承
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张鸣
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 六自由度 平面电机 工件台 位移测量系统
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尹文生
供职机构:华中科技大学
研究主题:光刻机 六自由度 平面电机 工位 直线电机
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徐登峰
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 工位 平面电机 六自由度 基台
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石淼
供职机构:清华大学
研究主题:掩模 弹射 永磁 出力 轨迹规划方法
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胡楚雄
供职机构:清华大学
研究主题:平面电机 光刻机 激光干涉 测量系统 大行程
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杨开明
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 平面电机 六自由度 工件台 直线电机
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胡金春
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 六自由度 平面电机 工位 掩模
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刘学
供职机构:清华大学
研究主题:数学模型 GIS 合金制备 纳米多孔 单步
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