2025年2月6日
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张清涛
作品数:
12
被引量:9
H指数:2
供职机构:
中国科学院电工研究所
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发文基金:
国家高技术研究发展计划
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相关领域:
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合作作者
李艳秋
中国科学院电工研究所
刘少波
中国科学院电工研究所
尚永红
中国科学院电工研究所
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李艳秋
供职机构:北京理工大学
研究主题:掩模 极紫外光刻 光源 光刻系统 投影物镜
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刘少波
供职机构:华中科技大学
研究主题:铁电薄膜 热释电 红外探测器 铁电 PMNT
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尚永红
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:太阳能光伏电池 温差电池 光伏 PMNT MEMS
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