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王颖

作品数：6 被引量：14H指数：2
供职机构：北京大学信息科学技术学院微米纳米加工技术国家重点实验室更多>>
发文基金：国家重点基础研究发展计划国家自然科学基金更多>>
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领域

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地区

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共 13 条 记 录，以下是 1-10
李婷
供职机构：北京大学
研究主题：微电子机械系统 刻蚀 键合 牺牲层 成品率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张大成
供职机构：北京大学
研究主题：MEMS 微电子机械系统 刻蚀 硅 键合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
田大宇
供职机构：北京大学
研究主题：刻蚀 探测器 硅 离子注入 成品率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
闫桂珍
供职机构：北京大学
研究主题：锚点 微机械 微机械陀螺 陀螺 单片集成
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王翔
供职机构：北京航空航天大学电子信息工程学院
研究主题：共晶键合 金 硅 蛋白质芯片 MT
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王玮
供职机构：北京大学信息科学技术学院微电子研究院
研究主题：硅 数据挖掘 探测器 共晶键合 金属薄膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
吕知秋
供职机构：北京大学
研究主题：SI PECVD 驻极体 双层膜 MEMS开关
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张锦文
供职机构：北京大学
研究主题：驻极体 金刚石 放射性同位素 电学隔离 碳纳米管
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
董海峰
供职机构：北京大学
研究主题：阳极键合 加速度计 玻璃衬底 电极 微机电系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
贾玉斌
供职机构：北京大学信息科学技术学院微米纳米加工技术国家重点实验室
研究主题：加速度计 英文 电极 光开关 悬臂梁
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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