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吴会旺
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河北普兴电子科技股份有限公司
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合作作者
赵丽霞
河北普兴电子科技股份有限公司
陈秉克
河北普兴电子科技股份有限公司
袁肇耿
河北普兴电子科技股份有限公司
薛宏伟
河北普兴电子科技股份有限公司
刘英斌
河北普兴电子科技股份有限公司
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赵丽霞
供职机构:河北普兴电子科技股份有限公司
研究主题:外延片 互连线 外延层 衬底 电阻率
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陈秉克
供职机构:河北普兴电子科技股份有限公司
研究主题:外延片 外延层 衬底 硅外延 电阻率
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袁肇耿
供职机构:河北普兴电子科技股份有限公司
研究主题:外延片 硅外延片 硅外延 外延层 电阻率
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薛宏伟
供职机构:河北普兴电子科技股份有限公司
研究主题:外延片 硅外延片 电阻率 衬底 均匀性
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刘英斌
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研究主题:外延片 电阻率 衬底 薄层 硅外延
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高国智
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高淑红
供职机构:河北普兴电子科技股份有限公司
研究主题:衬底 掺磷 磷掺杂 外延层生长 失配
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