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唐海林
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20
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H指数:4
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中国工程物理研究院
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合作作者
苏伟
中国工程物理研究院电子工程研究...
周浩
中国工程物理研究院电子工程研究...
安宁
中国工程物理研究院电子工程研究...
李志强
中国工程物理研究院电子工程研究...
曾建平
中国工程物理研究院电子工程研究...
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苏伟
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:微加速度计 微电子机械系统 微机电系统 加速度计 折叠波导
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李志强
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:终端结构 碳化硅 封装形式 刻蚀 结终端
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安宁
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:电极 结电容 TSV 空气桥 变频电路
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曾建平
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:电极 结电容 空气桥 太赫兹 变频电路
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刘显学
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:极板 加速度计 石英 微机械陀螺 微加速度计
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周浩
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:微机械陀螺 加速度计 解耦 微机械 差分电容
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谭刚
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:化学机械抛光 CMP LPCVD 多晶硅薄膜 平坦化
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李倩
供职机构:中国工程物理研究院
研究主题:肖特基势垒二极管 太赫兹 串联电阻 结电容 截止频率
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吴嘉丽
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:惯性开关 微机电系统 G值 LPCVD 多晶硅薄膜
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刘海涛
供职机构:中国工程物理研究院
研究主题:MHEMT IN0 GA T型栅 NM
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