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孙振
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32
被引量:29
H指数:3
供职机构:
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
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发文基金:
国家科技重大专项
国家自然科学基金
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相关领域:
机械工程
自动化与计算机技术
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合作作者
倪明阳
中国科学院长春光学精密机械与物...
巩岩
中国科学院长春光学精密机械与物...
郭抗
中国科学院长春光学精密机械与物...
李显凌
中国科学院长春光学精密机械与物...
隋永新
中国科学院长春光学精密机械与物...
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倪明阳
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学元件 投影光刻物镜 镜框 投影物镜 光刻物镜
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供职机构
所获资助
研究领域
巩岩
供职机构:中国科学院苏州生物医学工程技术研究所
研究主题:光学元件 投影光刻物镜 投影物镜 光学设计 显微物镜
发表作品
相关人物
供职机构
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研究领域
郭抗
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学元件 镜框 光刻物镜 轴向 投影光刻物镜
发表作品
相关人物
供职机构
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李显凌
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学元件 镜框 投影光刻物镜 投影物镜 光刻物镜
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研究领域
杨怀江
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学元件 镜框 面形 投影物镜 光学检测
发表作品
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供职机构
所获资助
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隋永新
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学元件 镜框 面形 光学检测 光学加工
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赵磊
供职机构:大连理工大学
研究主题:光学元件 镜框 投影光刻物镜 像差 微动
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陈华男
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学元件 投影光刻物镜 光刻物镜 柔性铰链 镜框
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华洋洋
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:镜框 光学元件 光学系统 镜片 物镜
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彭海峰
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学元件 投影光刻物镜 轴向 像差 支撑结构
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