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彭雪峰

作品数：9 被引量：5H指数：1
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
发文基金：国际科技合作与交流专项项目更多>>
相关领域：理学机械工程电子电信自动化与计算机技术更多>>

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地区

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共 17 条 记 录，以下是 1-10
黄惠杰
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 起偏器 照明系统 光刻 测量方法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
曾爱军
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：起偏器 光刻机 移相 测量方法 偏振
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
黄立华
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：免疫层析 上转换发光 光刻机 试纸条 金标
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
任冰强
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 光束 照明系统 光阑 焦斑
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨宝喜
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 衍射光学元件 照明系统 光学设计 光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈贝特
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：金标 移相 达曼光栅 参考光 球面干涉仪
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
鲍建飞
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：波片 衍射光栅 方位角 信号处理系统 起偏器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈军
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：元件 表面形貌 光学 处理器 激光位移传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
肖艳芬
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 衍射光学元件 离轴照明 微透镜阵列 分子激光器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
朱菁
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 衍射光学元件 离轴照明 紫外光刻 照明系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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