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张志祥

作品数：6 被引量：9H指数：2
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文基金：国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

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地区

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共 10 条 记 录，以下是 1-10
李昕欣
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：悬臂梁 传感器 硅 硅片 压阻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王跃林
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 硅片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
于海涛
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微悬臂梁 悬臂梁 谐振式 锁相环 传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
饶伏波
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：单壁碳纳米管 性能研究 含碳 化学气相沉积法 单壁
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李俊纲
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：敏感膜 镍 高阶 悬臂梁 扩展性
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李铁
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅纳米线 各向异性腐蚀 气体传感器 石墨烯 纳米
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
金钦华
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：纳米 硅片表面 刻蚀工艺 结构部件 热学
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘民
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：加速度计 测试装置 接口电路 锁相环 悬臂梁
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
夏晓媛
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：悬臂梁 传感器灵敏度 表面应力 压阻 硅压阻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
包涵菡
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：传感器研究 PLL 接口电路 锁相环 高性能
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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