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宋强

作品数：3 被引量：35H指数：3
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
发文基金：国际科技合作与交流专项项目国家科技重大专项上海市科技人才计划项目更多>>
相关领域：理学机械工程更多>>

合作作者

领域

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传媒

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地区

  • 7个上海市
  • 1个吉林省
共 8 条 记 录，以下是 1-8
朱菁
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 衍射光学元件 离轴照明 紫外光刻 照明系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨宝喜
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 衍射光学元件 照明系统 光学设计 光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
黄惠杰
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 起偏器 光刻 照明系统 测量方法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
袁乔
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：测量方法 面形 锥角 干涉仪 起偏器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张方
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 衍射光学元件 照明系统 光学设计 光学系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
司徒国海
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：衍射光学元件 相位恢复 光学成像 双随机相位编码 数字全息
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李璟
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：衍射光学元件 光刻机 镜面 波带片 光源
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王健
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题：光学系统设计 光学设计 光学系统 衍射 长波红外
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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