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曹宇婷

作品数：8 被引量：16H指数：3
供职机构：中国科学院研究生院更多>>
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相关领域：理学机械工程电子电信更多>>

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  • 10个上海市
共 10 条 记 录，以下是 1-10
王向朝
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 投影物镜 波像差 干涉仪 掩模
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
彭勃
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 像差 波像差 投影物镜 主成分
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
邱自成
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 投影物镜 移相 像差 数值孔径
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
袁琼雁
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 投影物镜 移相 像差 工件台
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王渤帆
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：正弦相位调制 半导体激光 干涉仪 测量方法 光刻机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
步扬
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：偏振 光刻机 斯托克斯参量 偏振态 数值孔径
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
黄炳杰
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：析图 层析成像方法 正弦相位调制 参考光 差分
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
毕群玉
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：晶体 达曼光栅 对称型 啁啾脉冲 波像差
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
段立峰
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 像差 波像差 投影物镜 主成分
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘晓雷
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：极紫外光刻 掩模 多层膜 仿真方法 紫外光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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