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王庆伟
作品数:
1
被引量:4
H指数:1
供职机构:
沈阳真空技术研究所
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相关领域:
一般工业技术
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合作作者
孙清
沈阳药科大学
张晶宇
沈阳真空技术研究所
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张晶宇
供职机构:沈阳真空技术研究所
研究主题:磁控溅射 镀膜 真空镀膜 坩埚 电源
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孙清
供职机构:沈阳药科大学医疗器械学院
研究主题:PLC 位置控制 磁控溅射 伺服系统 变频器
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