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杨建章

作品数：2 被引量：1H指数：1
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

领域

  • 3个电子电信
  • 1个机械工程
  • 1个电气工程

主题

  • 3个光刻
  • 3个光刻机
  • 3个测量系统
  • 2个非接触
  • 1个电控
  • 1个电控系统
  • 1个找平
  • 1个执行器
  • 1个伺服
  • 1个伺服系统
  • 1个曝光机
  • 1个气动
  • 1个气动控制
  • 1个轴承
  • 1个轴控制器
  • 1个微分
  • 1个微小孔
  • 1个小孔
  • 1个末端执行器
  • 1个晶圆

机构

  • 3个中国电子科技...

传媒

  • 3个电子工业专用...
共 3 条 记 录，以下是 1-3
张云鹏
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：PID算法 伺服系统 程序控制 测量系统 LED光源
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李霖
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：曝光机 找平 光刻机 分辨率 控制研究
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
贾亚飞
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：测量系统 光刻机 非接触 仿真 光强
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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