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陈婷

作品数：3 被引量：8H指数：2
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所更多>>
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地区

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刘玉岭
供职机构：河北工业大学
研究主题：化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
魏恒
供职机构：河北工业大学
研究主题：粗糙度 去除速率 表面粗糙度 化学机械抛光 蓝宝石衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
梁蒲
供职机构：河北工业大学
研究主题：化学机械抛光 表面粗糙度 CMP SIO 抛光液
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
孙业林
供职机构：河北工业大学
研究主题：粗糙度 去除速率 化学机械抛光 表面粗糙度 蓝宝石衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘效岩
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：化学机械抛光 CMP 晶片 工艺技术 硅片表面
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张研
供职机构：河北工业大学
研究主题：化学机械抛光 CMP SIO 混合磨料 微晶玻璃
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
檀柏梅
供职机构：河北工业大学
研究主题：化学机械抛光 CMP 抛光液 ULSI 超大规模集成电路
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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